Семинар ОЯФ

08.09.2023 11:00 Конференц-зал ЛНФ (3-й этаж)

Луис Мигель Ледо-Переда, В.Н. Семенов, В.С. Рихвицкий, А.Н. Лихачев,  Р.Ш. Исаев, А.С. Дорошкевич

Аннотация

В рамках проекта модернизаии ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» г. Зеленоград и АО «Ангстрем» г. Зеленоград авторами доклада разработана система развертки в растр пучка протонов для облучения кремниевых пластин диамером 150мм. На основе  электростатического ускорителя (ЭСУ) ЭГ-5 совместно  с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» г. Зеленоград разработана, изготовлена и отлажена автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплантации кремниевых пластин для производства силовой электроники.  

Внешний вид и расположение элементов установки.