Общелабораторный семинар

29.04.2025 11:00 Конференц-зал ЛНФ (3-й этаж)

"Многослойные зеркала для рентгеновских и нейтронных приложений"

В.Н. Полковников (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород)

В докладе будет кратко сказано об особенностях взаимодействия рентгеновского излучения с веществом и на основе этого рассмотрения представлены основные физические принципы, положенные в основу работы многослойных рентгеновских зеркал, которые покрывают собой диапазон длин волн от λ=60 нм до λ<0.01 нм (от вакуумной ультрафиолетовой до жесткой рентгеновской области спектра). Также на соответствующих примерах будет рассмотрено влияние разного рода дефектов пленок на коэффициенты отражения многослойных зеркал.

Следующая часть доклада будет посвящена методам синтеза многослойных зеркал и приемам, которые используются для получения требуемого распределения периода по поверхности зеркала. Затем будет рассказано об основных методах диагностики микроструктуры пленок и интерфейсов, используемых в физике и технологии многослойных рентгеновских зеркал. Значительное внимание будет уделено технологии “инженерии слоев интерфейсов”. На примере последних достижений в области Cr/Sc для “окна прозрачности воды” и Ru/Be многослойных зеркал для EUV литографии будет продемонстрирован потенциал двух различных методов.

Заключительная часть доклада будет посвящена применениям многослойных зеркал в науке, технике и технологии. Особое место в данной части доклада будет уделено обсуждению достоинств и перспектив развития литографии на длине волны 11,2 нм, а также перспективам применения наших разработок для изготовления элементов нейтронной оптики.